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產(chǎn)品詳細(xì)頁濃度計(jì)
- 產(chǎn)品型號(hào):CM-200/210
- 更新時(shí)間:2024-03-17
- 產(chǎn)品介紹:實(shí)時(shí)顯示半導(dǎo)體制造工藝中的濃度為監(jiān)測半導(dǎo)體制造工藝中濃度而開發(fā)出來的高精度濃度計(jì)。該設(shè)備通過采用電磁感應(yīng)導(dǎo)電率計(jì)測量并實(shí)時(shí)顯示濃度。適用于使用的制造工藝,例如:清洗蝕刻后的晶片。
- 在線留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339
產(chǎn)品介紹
特點(diǎn)
實(shí)時(shí)顯示濃度
可以通過導(dǎo)電率傳感器檢測濃度,通過<導(dǎo)電率>-<氟酸濃度>的檢量線,自動(dòng)地實(shí)時(shí)顯示氟酸濃度。
實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體制造工藝中低濃度范圍的高精度
產(chǎn)品幾乎覆蓋了半導(dǎo)體制造工藝中所使用的溶液的量程(0-1/2/5/10/20wt%)。即使在0-1wt%的低濃度量程中,也實(shí)現(xiàn)了±2%F.S.以內(nèi)的再現(xiàn)精度。適合于要求低濃度范圍控制的存儲(chǔ)器生產(chǎn)線中發(fā)揮出威力。
確保穩(wěn)定檢測的傳感器
沉浸型傳感器已經(jīng)被PFA樹脂模塊化,所以不會(huì)因溶液而發(fā)生金屬腐蝕現(xiàn)象。并且,金屬等不純物不會(huì)溶入到樣品溶液中,因此可以對(duì)其進(jìn)行穩(wěn)定的檢測。
裝有報(bào)警功能
為了實(shí)現(xiàn)更加可靠的工藝管理,分別具有濃度輸出以及濃度上限?濃度上上限?濃度下限?濃度下下限的報(bào)警輸出功能。
可以用于多用途
采用小巧的DIN96尺寸的轉(zhuǎn)換器。小型?輕便,適于組裝到氟酸的稀釋裝置、供給裝置、晶片的清洗裝置中。并且,具有浸沒到液體中的沉浸型傳感器(CM-200)和設(shè)置在工藝配管中的流通形傳感器(CM-210)。您可以根據(jù)用途選擇。
測量原理
2個(gè)環(huán)狀螺線管(T1是通過交流電的勵(lì)磁變壓器、T2是檢測變壓器)被模塊化于傳感器的塑料外殼內(nèi)部。當(dāng)傳感器沉浸在溶液中時(shí),溶液將在2個(gè)環(huán)狀螺線管之間產(chǎn)生一個(gè)閉合回路。如果環(huán)狀螺線管T1的線圈中通過一恒定的交流電流,則會(huì)在磁圈中產(chǎn)生一恒定的磁場,依照樣品的導(dǎo)電率電流i流過樣品溶液。根據(jù)電流i環(huán)狀螺線管T2中將會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的磁場,并且在T2的線圈中將會(huì)產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢。由于感應(yīng)電動(dòng)勢e(電壓)與樣品的電導(dǎo)率呈比例關(guān)系,通過測量e可得知電導(dǎo)率值。這樣經(jīng)過檢測的導(dǎo)電率和濃度存在高的關(guān)聯(lián)性,可以根據(jù)預(yù)已知的參考曲線計(jì)算得出并顯示濃度。
規(guī)格
測量原理 | 電磁感應(yīng)導(dǎo)電率檢測方式 |
檢測對(duì)象 | 水+溶液 |
量程 | 0?1/2/5/10/20HFwt%(請(qǐng)您在訂貨時(shí)) |
再現(xiàn)性 | ±2% F.S |
響應(yīng)時(shí)間 | 90%響應(yīng)5秒以內(nèi)(恒溫條件下) |
樣品條件 | 溫度:25±3℃ |
顯示 | 濃度:小顯示值0.001%(在0-1%量程中) |